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曲卓用了一个小时的时间,详细的阐述了如何将硅砂或硅石,通过石墨坩埚熔炼成纯度两个九的硅锭。
再使用西门子公司五五年开发出的氯化氢提纯法,经过一系列复杂的冷凝和蒸馏进行提纯,最终得到九到十一个九的多晶硅……
到这里,硅单质、碳化硅、三氯硅烷、三氯化铁、三氯化铝、四氯化硅,以及复杂的温度和工序,已经把大多数学生听得脑袋发胀了。
但才刚开始……
曲卓稍微给了傻孩子们一点消化的时间,又讲起了更大知识密度的,在高纯度石英坩埚中溶解硅料,掺杂硼、磷等材料,或什么都不掺杂的硅溶液里,通过溶液、硅棒与辐射热量三者之间的热平衡估算,用一颗小种子提拉出目标直径的单晶硅棒。
经过滚磨、倒角、精研、背面粗糙、化学机械抛光等一系列操作,将硅棒切割成硅片,随后精磨和化学刻蚀来清除打磨过程中的机械损伤和混入的磨料。
再经过化学机械抛光和去离子水、化学溶剂清洗,以及平整度、翘曲度、氧含量、金属残余量、光学散射等重重检测,才能得到一张合格的硅片。
后面是光刻、注入、干、湿法刻蚀、沉积……
随着讲解进度的推进,黑板的角落里,从高纯度石墨、石英、到各种特气,精密仪器和化学药剂,涉及到的专利等等等,逐渐累积了超过百项条目。
曲卓没有告诉同学们哪些是我们已经解决和掌握的,哪些是未能完全解决和掌握的,哪些是完全没有解决和掌握的……
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